晶片電路修補

採用FIB對晶片內部製程電路進行物理修補。運用FIB的濺射功能,可將某處的連線斷開,或利用其沉積功能,可將某處原來不相連的部分連接起來,從而改變電路連線走向,可查找、診斷電路的錯誤,且可直接在晶片上修正這些錯誤,降低研發成本加速研發進程,因為其省去了原形製備和掩模變更的時間和費用。