結構觀察
結構觀察的重要性
半導體器件是一個複雜的多層三維立體結構。常規的電學測試只能告訴我們器件「是否工作」或「性能如何」，但無法解釋「為什麼」。表面觀察也只能看到最頂層。截面分析可以直接觀察薄膜的厚度、均勻性和界面品質；三維結構的形貌，如電晶體的閘極、FinFET的鰭、電容器的深槽等；內部缺陷，如空洞、裂紋、晶格缺陷、界面分層、雜質析出等。
服務項目
半導體器件是一個複雜的多層三維立體結構。常規的電學測試只能告訴我們器件「是否工作」或「性能如何」，但無法解釋「為什麼」。表面觀察也只能看到最頂層。截面分析可以直接觀察薄膜的厚度、均勻性和界面品質；三維結構的形貌，如電晶體的閘極、FinFET的鰭、電容器的深槽等；內部缺陷，如空洞、裂紋、晶格缺陷、界面分層、雜質析出等。
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