定位檢測(OBIRCH/INGAAS/熱感)
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- 應用範圍
- 設備規格
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- 商品名稱: 定位檢測(OBIRCH/INGAAS/熱感)
定位檢測系統專注於失效點、熱點與缺陷的精確定位,整合 OBIRCH/INGAAS 紅外成像與 Thermal 熱成像兩套高端分析能力,均基於 HAMAMATSU PHEMOS 1000 平台。
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積體電路 漏電點、短路點、開路缺陷 的 OBIRCH 定位
背面去層後的 Backside OBIRCH / IR 成像
器件工作狀態下 熱點(Hot Spot)檢測與熱分布成像
功率器件、LED、射頻器件的結溫與熱阻(Rth)分析
ESD、過電應力(EOS)及可靠性失效的物理位置確認
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OBIRCH/INGAAS/Thermal
濱松 PHEMOS-1000

設備能力:1X/5X/20X/50X/100X鏡頭,帶Lock in模式,四路探針+背扎模式。
RTH-01

設備能力:1X/5X/10X鏡頭,兩路探針。帶Lock in模式,兩路探針
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