表面3D輪廓量測儀
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- 商品名稱: 表面3D輪廓量測儀
表面3D輪廓量測儀分析手法,專為解決傳統量測效率低與人為誤差的痛點而設計。提供非接觸式,且可快速掃描大面積的3D量測服務。基礎原理是利用光源投射條紋光線在樣品表面,樣品的高低差會使條紋產生變化,再透過已知入射角度計算出對應的階差,最終建構出完整的立體3D形貌。
久析能為你做些什麼
久析提供的一站式表面3D輪廓量測服務,支援從樣品前處理、機械與環境應力測試,到後段異常比對與故障分析的完整解決方案。當可靠度測試結束後若發現異常點,可透過久析內部的失效分析與材料分析實驗室,深入找出問題根因,縮短開案週期,加快問題解決。
我們配備的Keyence VR-6200 表面3D輪廓量測儀具備自動化、非接觸式高解析掃描功能,可同時量測面積(X/Y)、高度(Z)與曲率變化,無須複雜前處理,即可協助您掌握翹曲、膨脹、凹陷等塑性變形,可廣泛應用於封裝、模組、PCB 與高段差樣品。
服務優勢
高精度 + 高效率的3D量測能力
最大測量範圍達 300×150×70mm,解析度高達 0.4 μm(高度)/±5μm(寬度),1400萬像素黑白CMOS。支援高反射、低反射與透明樣品,皆能穩定獲取資料。
微結構與大面積兼顧
從整體模組到微小錫球皆可量測。非接觸式一鍵掃描,無需手動對焦與繁瑣調整,自動拼接有效避免人為誤差。
串接一站式分析,快速找出故障真因
表面3D輪廓量測結果,可作為故障分析與材料分析之重要參考,快速定位出異常根因。
設備規格
基恩士 VR-6200
顯示分辨率:0.1um
Z軸精度:無Z拼接:±2.5um / 有Z拼接:±4.0um
XY軸精度:±5.0um ~ ±2.0um
XY軸解析度:1 pixel = 1.9~24um(取決於放大倍率)
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平面測量


3D輪廓測量


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