樣品剖面研磨(Cross Section)

  • 詳細描述
  • 作業步驟
  • 應用
  • 圖片展示
    • 商品名稱: 樣品剖面研磨(Cross Section)

    樣品剖面研磨(Cross Section)是指將待檢測的晶片樣品用樹脂等材料封裝後,透過精確的研磨、拋光,甚至離子刻蝕,將晶片特定位置(如失效點、焊點、通孔、柵氧層等)精確地剖開,使其內部截面暴露出來。

     

  • 樣品裁切、封埋、研磨、拋光、觀察

     

  • 尺寸測量

    如薄膜厚度、線寬、通孔直徑和深度等

     

    形貌結構

    觀察各層材料(金屬、介質、矽)的形態、均勻性、完整性

     

    缺陷定位

    查找並確認裂紋、空洞、層間剝離、電遷移、腐蝕等缺陷

     

    工藝品質評估

    評估蝕刻、沉積、化學機械拋光等工藝步驟的品質

獲取報價

注意:如果您對我們的服務項目感興趣,請留下您的電子郵件,免費獲得項目報價,謝謝!

提交留言