樣品剖面研磨(Cross Section)
- 詳細描述
- 作業步驟
- 應用
- 圖片展示
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- 商品名稱: 樣品剖面研磨(Cross Section)
樣品剖面研磨(Cross Section)是指將待檢測的晶片樣品用樹脂等材料封裝後,透過精確的研磨、拋光,甚至離子刻蝕,將晶片特定位置(如失效點、焊點、通孔、柵氧層等)精確地剖開,使其內部截面暴露出來。
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樣品裁切、封埋、研磨、拋光、觀察
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尺寸測量
如薄膜厚度、線寬、通孔直徑和深度等
形貌結構
觀察各層材料(金屬、介質、矽)的形態、均勻性、完整性
缺陷定位
查找並確認裂紋、空洞、層間剝離、電遷移、腐蝕等缺陷
工藝品質評估
評估蝕刻、沉積、化學機械拋光等工藝步驟的品質
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