超音波檢測（SAT）
- 詳細描述
- SAT原理
- 使用模式
- 案例圖片
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- 商品名稱: 超音波檢測（SAT）
久析機台使用：SONOSCAN Gen7 C-Scan 超聲波掃描顯微鏡
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SAT超聲波又稱SAM，主要利用超聲波的反射和透射特性，透過發射超聲波並接收其回波來成像。超聲波在遇到不同材料的交界面時會發生反射，形成不同的回波信號，從而可以判斷材料內部的缺陷。
可偵測非常小的分離層，可精確定位界面、晶片裂縫、脫層、裂縫（Crack）、氣洞、傾斜偏移。
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（C-Scan模式）指定深度平面圖
特點：使用反射聲學顯微鏡在 X-Y 平面沿深度(Z)採集聲學數據，C-Scan 解析度高可單獨對各層材料進行掃描
（T-Scan模式）穿透掃描模式
特點：使用透射聲學顯微鏡在 X-Y 平面沿整個深度（Z）採集聲學資料，T-Scan 僅能使用低頻探頭（穿透能力）解析度低，無法定位層面，在判斷器件中的大缺陷時，T 模式比 C 模式更快。
（A-Scan模式）單點深度訊號
特點：在給定的聲學顯微鏡所能達到的最小 X-Y-Z 區域內採集聲學數據，要用於對聲學顯微鏡進行聚焦
（B-Scan模式）剖面圖
特點：使用反射聲學顯微鏡沿著 X-Z 或 Y-Z 平面深度方向採集聲學數據，提供截面聲學資訊，用於追蹤缺陷的深度。
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